潔凈室，又稱為無塵室或清潔室，是一種控制環(huán)境中污染程度的房間，用于特定工業(yè)領(lǐng)域如半導(dǎo)體制造、制藥、精密機(jī)械和電子等。潔凈室的進(jìn)出風(fēng)過濾系統(tǒng)是維持其潔凈環(huán)境的關(guān)鍵部分。

在潔凈室內(nèi)，空氣需要經(jīng)過HEPA（高效顆?？諝猓┻^濾器或ULPA（超低穿透率空氣）過濾器進(jìn)行凈化。這些高效的空氣過濾器能夠捕捉至少99.97%（對于HEPA）甚至99.999%（對于ULPA）直徑為0.3微米的顆粒。通過這樣的過濾系統(tǒng)，潔凈室內(nèi)的空氣中的塵埃、細(xì)菌和其他污染物被大幅度降低，從而達(dá)到所需的潔凈等級。

進(jìn)出風(fēng)過濾系統(tǒng)的工作原理基于強(qiáng)制空氣循環(huán)。首先，外部空氣通過預(yù)過濾器去除較大的顆粒物，然后進(jìn)入空調(diào)箱中的HEPA/ULPA過濾器進(jìn)行深度凈化。凈化后的空氣被送入潔凈室內(nèi)部，并通過均勻分布的出風(fēng)口流過整個空間，帶走可能產(chǎn)生的微小污染物。同時，潔凈室內(nèi)的空氣壓力通常保持高于相鄰區(qū)域的壓力，以防止未經(jīng)過濾的空氣流入。

為了維護(hù)潔凈室的潔凈度，除了高效的過濾系統(tǒng)外，還需要考慮空氣流向和流速的控制。空氣流動通常是層流狀態(tài)，即空氣以單一方向平行流動，減少渦流和亂流的產(chǎn)生，從而降低污染物在空間內(nèi)的擴(kuò)散。此外，潔凈室內(nèi)的溫度、濕度也需要嚴(yán)格控制，因為這兩個因素也會影響潔凈度和空氣流動的特性。

潔凈室的進(jìn)出風(fēng)過濾系統(tǒng)還需要定期維護(hù)和檢測，以確保其運行效率和效果。這包括更換或清潔過濾器、檢查系統(tǒng)的密封性以及監(jiān)測潔凈室內(nèi)的顆粒計數(shù)和壓力差異等。通過這些措施，可以保證潔凈室長期穩(wěn)定地提供所需的潔凈環(huán)境。